型 号
极限压力Pa
抽速L/s
主泵加热功率kW
主机型号
配用的挡板
配用的高真空阀(气、电动阀)
配用的前级泵
进气口直径D
D1
N-Φ1
中心高尺寸
JK-200T
5x10-4
600
1.8
K-200T
SB-200
GF-200
GDD-J200
GDQ-J200
2X-15
200
250
8-Φ12
940
JK-300T
1400
3
K-300T
SB-300
GF-300
GDD-J300
GDQ-J300
2X-30
300
350
8-Φ14
1160
JK-320TD
1500
4
K-320TD
内藏式
GDD-J320
GDQ-J320
320
395
12-Φ14
1340
JK-400T
2600
4.5
K-400T
SB-400
GDD-J400
GDQ-J400
2X-70
400
465
8-Φ18
JK-500TD
3800
6.9
K-500TD
GDD-J500
GDQ-J500
500
580
16-Φ14
1700
JK-600T
5600
8.4
K-600T
SB-600
GDD-J600
GDQ-J600
670
12-Φ21
2030
JK-800
7560
K-800
SB-800
GDQ-J800
2X-70? 2台
800
880
20-Φ21
2280
JK-800TD
8600
15
K-800TD
H-150(2台)
2414
JK-1000TD
13000
24
K-1000TD
GDQ-J1000
1000
1090
24-Φ23
2915
JK-1200
16000
K-1200
SB-1200
GDQ-J1200
H-150 2台
1200
1310
28-Φ25
3582